选择 H 公司 28-14nm 逻辑电路晶圆产线作为研究对象,在先进制程的设备采购中具备一定的代表性。http://www.hibor.com.cn【慧博投研资讯】根据中国国际招标网数据统计,相比 90-55nm晶圆制造产线,28-14nm 产线上各类工艺设备的采购量翻倍,但国产化率更低。http://www.hibor.com.cn(慧博投研资讯)我们预计,中微、盛美、北方华创、华海清科更有机会在后续扩产中受益,而沈阳拓荆、沈阳芯源、中科信等工艺设备也有希望获得重复订单。
相比 90-55nm 制程,12 英寸 28-14nm 制程投资翻番,设备采购量翻倍。
DRAMeXchange 显示,该项目总投资 380 多亿元,计划产能 4 万片/月,工艺等级为 28-14nm 的 12 英寸逻辑电路芯片生产线。
该项目首个 1 万片/月产能已于 2016 年开工,2018 年 10 月投片,工期建设 22 个月,至今已累计采购各类工艺设备 400 多台。预计今后年均建产1 万片/月,年均投资 70 亿元(约 10 亿美元)。
可见,在相同产能的条件下,28-14nm 制程项目的设备采购量和投资金额均相当于 90-55nm 特色工艺产线的两倍左右。
总体国产设备中标的数量占比 8%,剔除量测口径下国产化率 13%,远低于 90-55nm 制程生产线工艺设备国产化比例。
根据中国国际招标网数据统计,截至目前,该项目工艺设备已中标数据中,包括光刻机 7 台,刻蚀设备 45 台,CVD58 台,清洗设备 45 台、离子注入机 28 台,PVD20 台,CMP17 台,量测设备 164 台,还有热处理设备 37 台,涂胶显影设备 9 台、去胶设备 11 台,镀铜设备 3 台。
该产线总体国产设备中标 35 台,国产化率为 8%,不包含量测设备口径下的国产化率为 13%,相同口径下 90-55nm 制程产线国产化率依次是14%、24%。
各类关键工艺设备国产化差异大,刻蚀、清洗等国产化位于 15%-20%,而 CMP、CVD、PVD、离子注入机、涂胶显影、镀铜设备国产化采购量均为 1-2 台,尚处于工艺验证阶段,量测、光刻国产化率为 0%。
根据中国国际招标网数据统计,该项目关键工艺设备中, CMP、CVD、PVD、刻蚀、清洗设备、热处理等的国产化率依次是 6%、3%、10%、16%、20%、14%,去胶设备国产化率 55%(由亦庄国投收购的 Mattson 供应)。离子注入机、涂胶显影、镀铜设备均为首台进入产线,而量测、光刻尚无国产设备进入该产线,100%依赖于进口品牌。
中微、盛美、北方华创、拓荆、华海清科引领工艺设备国产化。
根据中国国际招标网数据统计,北方华创中标 6 台工艺设备,中微半导体中标 6 台刻蚀设备,盛美半导体中标 9 台清洗设备和 1 台镀铜设备,华海清科中标 1 台 CMP 设备,沈阳拓荆中标 2 台 CVD 设备,Mattson 中标 6 台去胶设备和 2 台退火设备,沈阳芯源中标 1 台涂胶显影设备,中科信也有首台离子注入机中标,合计 35 台设备。
根据产线进度规划,我们预计 2019 年将大概率启动该项目第二批 1 万片/月产能对应工艺设备的招投标工作,中微、盛美、北方华创、华海清科将有望提高优势产品的份额。
投资建议:继续看好半导体设备行业
从该 28-14nm 制程产线设备中标情况看,先进制程设备采购量及投资额大幅增加,但国产化率低于 90-55nm 特色工艺产线,相比之下,中微、盛美、北方华创、华海清科更有机会在后续扩产中受益,强烈推荐北方华创、精测电子、晶盛机电,建议关注盛美半导体、长川科技。
风险因素:中国大陆存储厂商投产延缓全球存储芯片周期复苏;中美贸易战继续影响全球经济健康发展。