据DRAMeXchange 报道,长江存储器基地一期已实现量产,一季度产能达到5000 片/月,今年有3D NAND 的大规模生产计划,表明长江存储正从研发走向量产产能扩张。http://www.hibor.com.cn【慧博投研资讯】从中国国际招标网数据显示,2019 年国产设备在长江存储的中标数量大幅增加,尤其是中微的刻蚀设备、盛美的清洗设备、北方华创的热处理和PVD 来自长江存储的订单显著增加,而沈阳拓荆的CVD、华海清科的CMP 也已首次从长江存储获得订单。http://www.hibor.com.cn(慧博投研资讯)
长江存储的工艺设备采购计划集中释放,产能将快速扩张。
DRAMeXchange 显示,长江存储项目总投资240 亿美元,将新建月产能为30 万片的3D Nand 生产线,相当于1 万片/月产能对应投资8 亿美元。
长江存储武汉基地一期,已实现32 层64Gb 3D NAND Flash 小规模量产,今年第一季度产能达到5000 片/月;
今年以来,长江存储设备采购数量和密集度都很大,国产3D NAND 将从研发走向大规模生产。
长江存储对CVD、刻蚀设备的采购数量最多,比例明显增加。
根据中国国际招标网数据统计,截至目前,该项目工艺设备已采购1166台工艺设备,包括光刻机19 台,刻蚀设备165 台,CVD260 台,清洗设备67 台、离子注入机26 台,PVD17 台,CMP34 台,量测设备432 台,还有热处理设备91 台,涂胶显影设备26 台、去胶设备24 台,镀铜设备5 台。与华力二期相比,CVD、刻蚀设备的采购数量比例明显增加。
总体国产设备中标的数量占比8%,剔除量测口径下国产化率12%,与华力二期基本相当,但低于华虹无锡项目的设备国产化率。
该产线总体国产设备中标91 台,国产化率为8%,不包含量测设备口径下的国产化率为12%,相同口径下华力二期的国产化率依次是8%、12.5%,华虹无锡项目国产化率依次是14%、21%。
各类关键工艺设备国产化差异大,CMP、PVD、刻蚀、清洗设备、热处理的国产化率处于10%-30%,而CVD 国产化率仅1%,量测、光刻、离子注入机、涂胶显影、镀铜设备全部依赖进口。
CMP、PVD、刻蚀、清洗设备、热处理等的国产化率依次是12%、18%、18%、22%、30%,去胶设备国产化率38%(由Mattson 供应);
CVD 设备:招标260 台,国产设备沈阳拓荆中标3 台,国产化率仅为1%;离子注入机、涂胶显影、镀铜设备、量测、光刻尚无国产设备进入该产线,100%依赖于进口品牌。
北方华创、中微、盛美引领工艺设备国产化,拓荆、华海清科也将进入长江存储产线。
长江存储产线上,北方华创累计中标33 台工艺设备,中微半导体中标21 台刻蚀设备,盛美中标13 台清洗设备,华海清科中标4 台CMP 设备,沈阳拓荆中标3 台CVD 设备,Mattson 中标7 台去胶设备、3 台退火设备和1 台刻蚀设备,合计91 台设备。
投资建议:继续看好半导体设备行业
从长江存储设备采购数据看,CVD、刻蚀设备弹性大,成长性好于其他设备类别,且中微、拓荆、北方华创显著受益,盛美清洗设备也获得重复批量订单,继续看好半导体设备行业,强烈推荐北方华创、精测电子、晶盛机电,建议关注盛美半导体、长川科技。
风险因素:中国大陆存储厂商投产延缓全球存储芯片周期复苏;中美贸易战继续影响全球经济健康发展。