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半导体设备行业研究报告:中银国际-半导体设备行业国产化专题三:从长江存储的设备采购数据,看国产工艺及测试设备在3DNand产能建设的机遇与潜力-190610

行业名称: 半导体设备行业 股票代码: 分享时间:2019-06-10 14:10:57
研报栏目: 行业分析 研报类型: (PDF) 研报作者: 杨绍辉
研报出处: 中银国际 研报页数: 5 页 推荐评级: 强于大市
研报大小: 840 KB 分享者: jni****oi 我要报错
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【研究报告内容摘要】

        据DRAMeXchange  报道,长江存储器基地一期已实现量产,一季度产能达到5000  片/月,今年有3D  NAND  的大规模生产计划,表明长江存储正从研发走向量产产能扩张。http://www.hibor.com.cn【慧博投研资讯】从中国国际招标网数据显示,2019  年国产设备在长江存储的中标数量大幅增加,尤其是中微的刻蚀设备、盛美的清洗设备、北方华创的热处理和PVD  来自长江存储的订单显著增加,而沈阳拓荆的CVD、华海清科的CMP  也已首次从长江存储获得订单。http://www.hibor.com.cn(慧博投研资讯)
        长江存储的工艺设备采购计划集中释放,产能将快速扩张。
        DRAMeXchange  显示,长江存储项目总投资240  亿美元,将新建月产能为30  万片的3D  Nand  生产线,相当于1  万片/月产能对应投资8  亿美元。
        长江存储武汉基地一期,已实现32  层64Gb  3D  NAND  Flash  小规模量产,今年第一季度产能达到5000  片/月;
        今年以来,长江存储设备采购数量和密集度都很大,国产3D  NAND  将从研发走向大规模生产。
        长江存储对CVD、刻蚀设备的采购数量最多,比例明显增加。
        根据中国国际招标网数据统计,截至目前,该项目工艺设备已采购1166台工艺设备,包括光刻机19  台,刻蚀设备165  台,CVD260  台,清洗设备67  台、离子注入机26  台,PVD17  台,CMP34  台,量测设备432  台,还有热处理设备91  台,涂胶显影设备26  台、去胶设备24  台,镀铜设备5  台。与华力二期相比,CVD、刻蚀设备的采购数量比例明显增加。
        总体国产设备中标的数量占比8%,剔除量测口径下国产化率12%,与华力二期基本相当,但低于华虹无锡项目的设备国产化率。
        该产线总体国产设备中标91  台,国产化率为8%,不包含量测设备口径下的国产化率为12%,相同口径下华力二期的国产化率依次是8%、12.5%,华虹无锡项目国产化率依次是14%、21%。
        各类关键工艺设备国产化差异大,CMP、PVD、刻蚀、清洗设备、热处理的国产化率处于10%-30%,而CVD  国产化率仅1%,量测、光刻、离子注入机、涂胶显影、镀铜设备全部依赖进口。
        CMP、PVD、刻蚀、清洗设备、热处理等的国产化率依次是12%、18%、18%、22%、30%,去胶设备国产化率38%(由Mattson  供应);
        CVD  设备:招标260  台,国产设备沈阳拓荆中标3  台,国产化率仅为1%;离子注入机、涂胶显影、镀铜设备、量测、光刻尚无国产设备进入该产线,100%依赖于进口品牌。
        北方华创、中微、盛美引领工艺设备国产化,拓荆、华海清科也将进入长江存储产线。
        长江存储产线上,北方华创累计中标33  台工艺设备,中微半导体中标21  台刻蚀设备,盛美中标13  台清洗设备,华海清科中标4  台CMP  设备,沈阳拓荆中标3  台CVD  设备,Mattson  中标7  台去胶设备、3  台退火设备和1  台刻蚀设备,合计91  台设备。
        投资建议:继续看好半导体设备行业
        从长江存储设备采购数据看,CVD、刻蚀设备弹性大,成长性好于其他设备类别,且中微、拓荆、北方华创显著受益,盛美清洗设备也获得重复批量订单,继续看好半导体设备行业,强烈推荐北方华创、精测电子、晶盛机电,建议关注盛美半导体、长川科技。
        风险因素:中国大陆存储厂商投产延缓全球存储芯片周期复苏;中美贸易战继续影响全球经济健康发展。
        

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